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ターボ分子ポンプの開発を始まりとする大阪真空の清浄高真空分野への取り組みは、理化学研究分野をはじめ、半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。当社では、操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置もユーザーのニーズが充分に反映されたものになっています。

• ■スパッタリング装置

• ■蒸着装置

• ■真空排気装置

• ■薄膜装置

• ■FPD製造

• ■真空環境試験装置