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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Rシリーズ
TGkine®-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。
ターボ分子ポンプ断面図（磁気軸受タイプ）
ラインアップ
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TGkine2200M-R
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TGkine3300M-R / 3400M-R
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TGkine3800M-R / 4200M-R
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反応生成物対策型 TGkineMI-Rシリーズ
