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TS50
- 全段ヘリカル溝（ネジ溝）構造
- 中・低真空領域において、大量のガス排気可能
- 300,000回以上の大気突入に耐えられる
- 安全規格：NRTL/SEMI-S2
用途
- 半導体製造
- 電子銃排気、イオン源排気
- 表面処理、表面改質
- 各種電子部品製造
- 管球製造、光学部品製造
- 加速器、放射線施設、核融合研究
- 熱処理
- 研究開発
仕様
| 吸気口フランジ | VG100 CF100 ISO-R100 |
|
| 排気速度 | N2 (L/s) | 25 |
| N2 (保護金網付) (L/s) | 23 | |
| H2 (L/s) | 13 | |
| 最大圧縮比 | N2 | 2×106 |
| H2 | 50 | |
| 最大ガス流量※1、※2 | N2 (sccm) | 600 |
| 起動時間 | (min) | 2.5～3.5 |
| 停止時間 | (min) | 2.5～5 |
| 到達圧力※3 | (Pa） | < 1×10-4 |
| (Torr） | < 7.5×10-7 | |
| 許容補助圧力 | (Pa) | 1200 |
| (Torr） | 9 | |
| 推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧80 |
| 取付姿勢 | 正立（±10°） | |
| 質量 | (kg) | 11 |
※1：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1気圧)
※2：排気口部の補助排気速度を160L/minとした場合の値です。
※3：48時間ベーク後に得られる値です。
外観寸法図
| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ | Ⓕ | Ⓖ | Ⓗ |
| VG100 | φ185 | 15 | 264 | 185 | 238 | 226 | 215 |
| CF100 | φ152 | 21 | 264 | 185 | 236 | 226 | 215 |
| ISO- R100 |
φ130 | 12 | 262 | 183 | 234 | 224 | 213 |
・吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
コントローラ
| ターボコントローラ型式 | TC203 | |
| 入力電圧 | AC100-110 V AC200-230 V |
|
| 相数 | 単相 | |
| 出力周波数 | (Hz) | 50 / 60 |
| 最大所要電力 | (kVA) | 0.61 |
| 質量 | (kg) | 2.7 |
| 通信インターフェース | Parallel I/O・RS232C | |
| 標準付属品 | ・入力コネクタ：1個 ・リモートコネクタ：1個 ・シリアル通信コネクタ：1個 ・取扱説明書(本体、シリアル通信)： 各1部 |
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