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ターボ分子ポンプ

TG-Fシリーズ
グリス潤滑玉軸受タイプ

TG-Mシリーズ
磁気軸受タイプ

TGkineシリーズ
磁気軸受タイプ　コントローラ・電源一体型

TGシリーズ
油潤滑玉軸受タイプ

ルーツ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
液封式真空ポンプ
油拡散真空ポンプ
エジェクタ
ドライ真空ポンプ
真空システム
真空装置

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。

排気原理の詳細

ターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい（排気方向の流れと逆流の差が大きい）角度、後段側では気体分子が逆行しにくい（排気方向の流れと逆流の比が大きい）角度を持っています。分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部（ロータ）の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部（ステータ）のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）が完成しました。それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。

ターボ分子ポンプ断面図（グリス潤滑玉軸受形）

ターボ分子ポンプの主なメリット

・オイルフリーの超高真空が得られる

・気体分子を機械的に排気（ダイナミック排気）するため、すべての気体に対してほぼ同じ排気速度を持っている。

・希ガスや腐食性ガスの排気が可能。

・大流量のガスを連続排気することができる。

・作動圧力領域が広い。（～10^-10Pa）

姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ

グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能で、ターボ分子ポンプの新しい可能性を追求したシリーズです。 50L/s ～ 2400L/s クラスまでラインアップしています。

TG50F
TG60F
TG70F
TG220F
TG240F
TG350F
TG450F
TG800F
TG1100F
TG1400F
TG2400F
TG2410F

磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ

磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。 300L/s～3400L/sクラスまでラインアップしています。

TG397M
TG427M
TG907M
TG1307M
TG390M
TG420M
TG900M
TG1300M
TG2400M
超高真空形TG-MU
極低振動形 TG-MLシリーズ
反応生成物対応 TG-MIシリーズ

磁気軸受形複合分子ポンプTGkineシリーズ

コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。

TGkine1700M/TGkine2200M
TGkine3300M/TGkine3400M
TGkine3800M/TGkine4200M
反応生成物対応磁気軸受形複合分子ポンプTGkine-MIシリーズ

油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ

油潤滑玉軸受を採用しています。 200L/s～5500L/sまでの全クラスにケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスを排気する用途に対応します。

TG203
TG553
TG1003
TG1303
TG1810/TG1813
TG2813
TG3213
TG3413
TG5000/TG5003
TG5500/5503

ターボ分子ポンプ排気システム

ST-Compactシリーズ
STシリーズ（TG-Fシリーズ＋ドライ真空ポンプ）
STシリーズ（TG-Fシリーズ＋油回転真空ポンプ）

ルーツ真空ポンプ

ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプです。油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれます。ルーツ真空ポンプは通常、ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用します。

大阪真空のルーツ真空ポンプ

◎大阪真空のモータ直結型ルーツ真空ポンプ（RDシリーズ、RAシリーズ）はコンパクト設計ですのでシステムとしてまとめる事が容易にできます。ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップしており、宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応しています。

◎ルーツ真空ポンプの運転条件として、吸入圧と背圧に許容圧力差があります。許容範囲を超えて運転すると、モータが過負荷になり、また発熱が大きくなり冷却しきれなくなります。そこで大阪真空のルーツ真空ポンプ排気系では、逃し弁を取り付けることにより許容範囲を超えた場合に自動的に圧力調整を行い、吸入圧力の高い領域でも最大限に排気能力を発揮する事ができます。（オプション）

◎インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で圧力コントロールをしたりする事ができます。また、機種や地域によっては、増速回転させることにより排気速度を増加（最大約40%増）させることも可能です。(オプション)

RDシリーズ

RD302
RD600
RD1200
RD1500/RD1510
RD2500/RD2510

RAシリーズ

RA100

Rシリーズ

R6002
R12001

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で、最も経済性・操作性に優れたポンプであり、幅広い用途に対応しているため、世界中でたくさん使用されています。

大阪真空の油回転真空ポンプ

◎油回転真空ポンプは、構造の違いから、揺動ピストン形（キニータイプ）、回転翼形（ゲーデタイプ）、カム形（センコタイプ）などに分類されます。大阪真空が採用している揺動ピストン形は、耐久性に優れ、構造上、吸入空間を大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造です。

◎ポンプの油は、ポンプを安全に運転するための重要なポイントです。大阪真空の油回転真空ポンプは、低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、長く安心してご使用いただけます。

◎精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造となっているので、適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間ご使用いただいている例もあります。

Pシリーズ

P90
P180
P222
P450
P600
P901

Kシリーズ

K30002

VRDシリーズ

VRDシリーズ

液封式真空ポンプ

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。

【液封式真空ポンプの排気原理】
液封式真空ポンプは、ケーシングとその内部にある羽根車（ロータ）から構成されています。ケーシング内に封液を入れて羽根車を回転させると、封液は遠心力によりケーシング内壁に押し付けられ水のリング（水環）を形成します。そして、羽根車と封液の間には羽根で区切られた空間が多数できます。羽根車はケーシングとは偏心した位置に取り付けられているので、羽根車が回転するにつれ各空間の容積は変化します。この容積変化を利用して、吸気、圧縮、排気を連続的に行います。

大阪真空の液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

大阪真空の液封式真空ポンプは、水をはじめ様々な封液を選択できます。用途に応じた最適な封液を選択する事により、水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応できます。
また、封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、発生する廃液を最小に抑えることも可能です。
その他にも、液封式真空ポンプは他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応できるようになります。例えば、ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現できます（PRLシリーズ）。
また、アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、キャビテーション防止することができます。（１段アトモスタ：WAシリーズ、２段アトモスタWBシリーズ）

Wシリーズ

W30S
W50S/WA50S
W80S/WA80S
W150S/WA150S
W310S/WA310S/WB310S
W630S/WA630S/WB630S

油拡散真空ポンプ

● 簡単に超高真空を得る事ができ、真空熱処理炉、真空蒸着、電子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系など、幅広い真空プロセスに用いられています。

● 10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップしています。

● 作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプです。

● 機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命です。

● 分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が簡単です。

構造の作動原理

油拡散ポンプは図のように、ボイラ部、ジェット部、シリンダ部で構成されており、機械的な可動機構はありません。そのポンプ作用（排気原理）は、油の噴射作用によって行われます。まず、作動油がボイラ部で加熱され蒸発し、多数の油分子がノズルから斜め下方向に超音速で噴出されます。高真空側（吸気口）から進入した気体分子は、高い確率で噴出された油分子に衝突し、斜め下方向に弾かれ噴流の下部空間に運ばれ、圧縮されます。それを第二段、第三段と繰り返し、最後は排気口から補助ポンプに吸引されます。また、ノズルから噴出された油分子は冷却されているシリンダ部内壁に衝突し、凝縮、液化してボイラ部に戻り、再び加熱されてノズルから噴出します。なお、油拡散ポンプは単独で排気することはできず、補助ポンプ（主に油回転真空ポンプ）と組合せて動作させる必要があります。

油拡散真空ポンプ

油拡散真空ポンプ

エジェクタ

エジェクタは、噴射蒸気他を駆動源とする、機械的駆動部の無い真空ポンプです。
構造が簡単で、故障もほとんどありません。操作も簡単で、大排気容量のものが製作できるため、熔鋼脱ガス設備や重合設備を始め、いろいろな分野で利用されています。エジェクタは単独で大気圧まで圧縮ができ、また直列につなぐ事によって、より高真空を得ることができます。他の真空ポンプと組み合せて、真空システムとして使用することも可能です。

エジェクタ

エジェクタ

ドライ真空ポンプ

大阪真空は、下記３種の特殊ドライ真空ポンプを提供します。

空冷式シリーズ

■大気圧で連続運転可能
■水蒸気吸入可能
■排気時間の短縮
■空冷仕様

大気圧連続運転＆水蒸気排気　FR060D

EcopositiVシリーズ

■省エネルギー
■小型・軽量
■クリーン排気
■耐食仕様選択可
■回転数制御機能搭載

省エネルギー型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

コンパクトシリーズ

■クリーン排気
■空冷仕様
■ガスバラスト
■オイルフリー
■高速ポンプダウン
■低コスト
■コンパクトサイズ
■省エネルギー

DSP50/DSP250/DSP500

真空システム

真空システムとは、いろいろな真空ポンプを組み合せて、目的の真空環境を作り出すシステムの事です。
真空は先端科学技術の分野から一般産業分野に至るまで、幅広く活用されています。これらの求められる真空の条件は用途によって様々です。環境への影響を考えると、凝縮性ガス・腐食性ガスの排気や排水処理は、解決されるべき重要な問題です。
また、省エネルギー化も長年の重要な問題です。もちろん必要な圧力範囲もいろいろです。
真空ポンプにはそれぞれいろいろな特長があり、それらを組み合せる事によって様々な条件をクリアする事ができます。

真空システムに対する大阪真空の取り組み

大阪真空では、「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」を提供する事をモットーとして、多彩なラインアップをもとに、充実した技術力と実績を持ってユーザーのニーズに合わせたベストな真空システムを提供していきます。

ターボ分子ポンプを使った真空システム

油回転真空ポンプとの組み合わせ

ボールベアリングタイプのターボ分子ポンプの補助真空ポンプとして、油回転真空ポンプをシステム化すると、容易な操作でしかも安価で超高真空が得られます。
ドライ真空ポンプとの組み合わせ

磁気軸受タイプのターボ分子ポンプの補助真空ポンプとして、ドライ真空ポンプをシステム化すると、より容易に、オイルフリーの清浄な超高真空、極高真空が得られます。
ターボ分子ポンプのタンデム利用

超高真空対応ターボ分子ポンプの補助ポンプとしてターボ分子ポンプを使う場合もあります。極高真空の領域で、水素の大きな排気速度が得られ、安定した極高真空を実現します。
ゲッターポンプなどとの組み合わせ

極高真空用ポンプとしてのイオンポンプ、ゲッターポンプ、非蒸発型ゲッターポンプ（ＮＥＧポンプ）などをターボ分子ポンプとシステム化すれば、極高真空での各種ガス排気が容易になり、より安定した極高真空が得られます。

ドライ真空ポンプを使った真空システム

ルーツ真空ポンプとの組み合わせ

腐食性ガスに強く、またシステム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空システムです。
ルーツ真空ポンプ２段との組み合わせ

ルーツ真空ポンプを２段組み合せて、より高真空を得る、環境対応型の真空システムです。
エジェクタとの組み合わせ

大容量排気に適したエジェクタとドライ真空ポンプを組み合せた、オイルフリーの環境対応型真空システムです。

油回転真空ポンプを使った真空システム

ルーツ真空ポンプとの組み合わせ

大容積を効率よく排気でき、熱処理装置、溶接装置などに実績があります。
ルーツ真空ポンプ２段との組み合わせ

ルーツ真空ポンプを２段組み合せてより高真空を得る、真空システムです。

液封式真空ポンプを使った真空システム

ルーツ真空ポンプとの組み合わせ

凝縮性気体に強く、真空乾燥や真空蒸留などのプロセスに実績があります。
ルーツ真空ポンプ２段との組み合わせ

ルーツ真空ポンプを２段もしくはそれ以上組み合せて、より高真空を得るシステムです。乾燥装置等に多くの実績があります。
エジェクタとの組み合わせ

大容量排気に適したエジェクタと、排水処理が不要な液封式真空ポンプを組み合せた環境対応型の真空システムです。エジェクタの段数、ルーツポンプの有無等、条件により変更することができます。

ルーツ真空ポンプを使った真空システム

油回転真空ポンプとの組み合わせ

大容積を効率よく排気でき、熱処理装置、溶接装置などに実績があります。
油回転真空ポンプとルーツ真空ポンプ
2段との組み合わせ

ルーツ真空ポンプを２段組み合せてより高真空を得る、真空システムです。
液封式真空ポンプとの組み合わせ

凝縮性気体に強く、真空乾燥や真空蒸留などのプロセスに実績があります。
液封式真空ポンプとルーツ真空ポンプ
2段の組み合わせ

ルーツ真空ポンプを２段もしくはそれ以上組み合せて、より高真空を得るシステムです。乾燥装置等に多くの実績があります。
ドライ真空ポンプとの組み合わせ

腐食性ガスに強く、またシステム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空システムです。
ドライ真空ポンプとルーツ真空ポンプ
2段の組み合わせ

ルーツ真空ポンプを２段組み合せてより高真空を得る、環境対応型の真空システムです。
エジェクタと液封式真空ポンプとの
組み合わせ

大容量排気に適したエジェクタと、排水処理が不要な液封式真空ポンプを組み合せた環境対応型の真空システムです。エジェクタの段数、ルーツポンプの有無等、条件により変更することができます。

エジェクタを使った真空システム

エジェクタは、駆動蒸気や冷却水などの用役を効率良く使用出来るように、仕様に基づく個別設計となっています。
ご用命の際には、下記条件を提示して下さい。

・使用吸入圧力・吸入気体の種類（出来れば分子量と特性）および量

・吸入気体温度・駆動源の種類、圧力、・冷却水温度

・コンデンサのご希望型式・被排気容積の初期排気時間

液封式真空ポンプとの組み合わせ

大容量排気に適したエジェクタと、排水処理が不要な液封式真空ポンプを組み合せた環境対応型の真空システムです。エジェクタの段数、ルーツポンプの有無等、条件により変更することができます。
ドライ真空ポンプとの組み合わせ

大容量排気に適したエジェクタとドライ真空ポンプを組み合せた、オイルフリーの環境対応型真空システムです。
２段ブースタ式４段エジェクタの
組み合わせ

脱ガス用のような大容量排気に適しており、吸入圧力に合わせて段数を変更する事ができます。耐蝕性材料も自由に選択でき、目的に合わせた設計ができます。

真空装置

ターボ分子ポンプの開発を始まりとする大阪真空の清浄高真空分野への取り組みは、理化学研究分野をはじめ、半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。当社では、操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置もユーザーのニーズが充分に反映されたものになっています。

■スパッタリング装置
■蒸着装置
■真空排気装置
■薄膜装置
■FPD製造
■真空環境試験装置

スパッタリング装置
Vカソードスパッタリング装置
プラズマ発生装置
円筒外面スパッタリング装置
レーザーアブレーション用真空装置