大阪真空の各事業と製品
大阪真空の各事業と製品
真空ポンプ事業

様々なお客様の用途に対応する為、大阪真空では低真空から高真空用途まで多種多様な真空ポンプを取り揃えています。 吸入気体や排気速度など、お客様の使用条件に合わせて最適な真空ポンプを提供しています。

大阪真空が世界に誇る技術
ターボ分子ポンプ

大阪真空は、1971年に日本で初めて「ターボ分子ポンプ(TMP)」の開発に成功。 ターボ分子ポンプとは、ジェットエンジンの羽根に似た複数のタービン翼が1秒間に数百回転して真空を作り出す機械式真空ポンプのことをいいます。 ターボ分子ポンプを中心に、その後も、市場のニーズをいち早く取り入れた製品開発を展開し、ターボ分子ポンプの発展型である「複合分子ポンプ」を世界で初めて開発しました。 これが今では、半導体製造プロセスにおける世界的に標準構造の真空ポンプになっていきます。  ターボ分子ポンプの技術革新は、1980年代から1990年代前半に台頭してきた携帯電話や液晶テレビなどにみられる半導体および液晶産業の発展の牽引力になりました。
過去2回、ターボ分子ポンプで「日本真空技術賞」を受賞しました。 また、優れた技術力と実績を背景に、多様な製品ラインアップで、お客様のニーズに合わせたカスタマイズ化にもお応えしています。
近年は、ポンプの基幹部品である軸受の内、高度な技術を必要とする磁気軸受(ベアリング)を自社設計、製造しています。

真空ポンプ ラインアップ

油回転真空ポンプ

【油回転真空ポンプ】

大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で、最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しているため、世界中でたくさん使用されています。
ルーツ真空ポンプ

【ルーツ真空ポンプ】

簡易な構造かつ安価であり、油回転真空ポンプなどの他の真空ポンプと組み合わせて排気速度を増大させる効果があります。
液封式真空ポンプ

【液封式真空ポンプ】

化学プラントなど水蒸気や有機溶剤や粉体を含む気体の排気に適したポンプです。
エジェクタ

【エジェクタ】

水蒸気や水などを噴射して圧力を与えることで真空状態を作り出す真空ポンプです。 上記の真空ポンプでは対応できない巨大な設備の排気の際に使用されています。 溶綱に含まれる不純物を取り除く真空脱ガスが用途の一つです。
ドライ真空ポンプ

【ドライ真空ポンプ】

液体、油を使用しないポンプでクリーンな真空状態を作り出す真空ポンプです。 半導体・ディスプレイ製造、研究施設、医療用装置等で多く使用されています。
コントローラ・電源一体型ターボ分子ポンプ
コントローラ・電源一体型ターボ分子ポンプ
姿勢自在形ターボ分子ポンプ
姿勢自在形ターボ分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
反応生成物対応磁気軸受形ターボ分子ポンプ
反応生成物対応磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TG70F
計測機器向けターボ分子ポンプ
真空システム・真空装置事業

真空システムとは、真空ポンプを組み合わせて目的とする真空環境を作り出すシステムのことです。 真空ポンプにはそれぞれ様々な特徴があります。 大阪真空は、長年の経験と実績に裏付けされた充実した組み合わせ技術によってお客様のご要求をクリアし、 イニシャル・ランニング・メンテナンスを含めた「トータルコスト」で満足して頂ける、最適な真空システムを提供しています。
また、大阪真空は、個別仕様に合わせた操作性、生産性の高い真空装置作りを得意としており、特に研究開発分野において高い評価を頂いております。

真空システム・装置ラインアップの一例

真空システム1

【真空システム①】

ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプを組み合わせたコンパクトな真空システムです。
真空システム2

【真空システム②】

液封式真空ポンプとルーツ真空ポンプを組み合わせた真空システムです。
真空装置1

【真空装置①】

有機ELの製造工程で使用される真空装置です。
真空装置2

【真空装置②】

真空中でプラズマを発生させ、解析を行う装置です。