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TGkine3800M-R / 4200M-R
■ 省電力設計
■ 設定パラメータ、稼働データ、異常履歴などをポンプ本体に保持可能。 ※オーバーホール時にコントローラを入れ替えても、データ引継ぎ可能
■ 多様な通信仕様 EtherCAT対応可能
■ 国際規格適合 CE/NRTL/SEMI-S2
用途
■ 半導体製造装置
■ FPD製造装置
■ 太陽電池製造装置
■ ガラス/レンズ等の光学部品加工
■ フィルム加工
■ 加速器/宇宙環境試験装置
仕様
外観寸法図
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性能曲線
コントローラ