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TGkine3800M-R / 4200M-R

  • TGkine3800M-R / 4200M-R

■ 省電力設計

■ 設定パラメータ、稼働データ、異常履歴などをポンプ本体に保持可能。
 ※オーバーホール時にコントローラを入れ替えても、データ引継ぎ可能

■ 多様な通信仕様  EtherCAT対応可能

国際規格適合   CE/NRTL/SEMI-S2

用途

■ 半導体製造装置

■ FPD製造装置

■ 太陽電池製造装置

■ ガラス/レンズ等の光学部品加工

■ フィルム加工

■ 加速器/宇宙環境試験装置


仕様

外観寸法図

外観寸法図



※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は予告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線

 

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コントローラ

コントローラ


コントローラ


ターボコントローラ型式 TC0341M
入力電圧  (ACV) 200~240 -15~+10%
相数 単相
出力周波数 (Hz) 50/60
最大所要電力 (kVA) 1.0
質量 (kg) 8
シリアル通信規格 RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT