製品情報

TG5500/5503

 ■標準形と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインナップ

 

 ■世界最大級の複合分子ポンプ

 

 ■不意の大気突入に強い構造

 

 ■外部からの衝撃に強い

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※クリーンプロセス向けはTG-Fシリーズ、TG-Mシリーズ、TGkineシリーズをお選びください。


仕様

吸気口フランジ  VG500
排気速度 N2 (L/s) 5500
N2(保護金網付) (L/s) 5200
H2 (L/s) 4400
最大圧縮比  N2 1×108
H2 5×103
到達圧力  VG (Pa) <1×10-6
VG (Torr) <7.5×10-9
最大ガス流量※1 N2 (sccm) 1200
起動時間 (min)  25-35
停止時間 (min) 30-40
許容補助圧力 (Pa / Torr) 200/1.5
推奨補助ポンプ (L/min) 1500
潤滑油量 (mL) 1000
取付姿勢 垂直(±10°)
質量 (kg) 250
コントローラ型式 TC5503
  • ※1:補助ポンプ容量を3000L/minとした場合の許容最大流量
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑油や内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図



VG500 φ625 25 560 530
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ





コントローラ型式 TC5503
入力電圧(ACV) 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 2200
出力周波数(Hz) 500
質量(kg) 8.7
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・シリアル通信コネクタ:1個
・フェライトコア:1個
・油面センサケーブルアダプタ:1個
・取扱説明書(本体・シリアル通信):1部