製品情報

R12001

■回転軸が強い

 →低真空起動、低真空連続運転可能

■負荷条件に合ったモータの選択が可能

 →設備費削減、効率的な運転により省コスト化

■幅広い排気速度のポンプをラインアップ

 →90~12000m3/hまで対応

■補助ポンプとの組み合わせが多種多様

 →ルーツ+油回転・液封式

■ベルト駆動で大排気速度

■大容量チャンバーの排気に最適

■逃し弁(オプション)により吸入圧力の高い領域でも最大限に排気能力を発揮

■プロセスに合わせて最適な組み合わせを提案

用途

・半導体、FPD

・薄膜コーティング

・金属、鉄鋼、産業機器

・医療、化学、医薬品、食品

・研究開発


仕様

吸気口フランジ 400A JIS10KFF
呼び排気速度※1 (m3/h) 50Hz  12000
60Hz  12000
許容圧力差(kPa) 
    [標準モータ使用時]
50Hz  4.0
60Hz  4.0
試験到達圧力(Pa) 補助ポンプ1段RP 7×10-2
補助ポンプ2段RP 1.3×10-2
基準補助ポンプの排気速度(m3/h) 900~1200
回転数(r/min) 50Hz 1030
60Hz 1030
標準モータ出力(kW) 22
油量(L) 5.9
冷却水量※2 (m3/h) 1.5
質量(kg) 全閉外扇屋内形モータ付 3030
モータなし 2800

※1:実効排気速度は補助ポンプにより変わります。詳しくは当社営業担当までお問い合わせ下さい。
※2:冷却水温度は最高30℃を目安にしてください。
許容周囲温度:運転時は+10℃~+40℃、保管時は-5℃~+60℃。
凍結防止のため保管時には水を抜いておいて下さい。

 

外観寸法図



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