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TG350F
用途
■ 半導体製造
■ 電子銃排気、イオン源排気
■ FPD製造
■ 表面処理、表面改質
■ 各種電子部品製造
■ 分析、試験装置
■ 管球製造、光学部品製造
■ 加速器、放射線施設、核融合研究
■ 熱処理
■ 研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
外観寸法図
● 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
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性能曲線
コントローラ