製品情報

TG220F

 

■取付姿勢自在

 

■コンパクトサイズ

 

■省エネルギー

 

■急速起動

 

■急速ベント停止が可能

 

■大気突入に対応

 ※大気突入試験400回実証済

 

■シリアル通信可能

 

■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

電子銃排気、イオン源排気

FPD製造

表面処理、表面改質

各種電子部品製造

分析、試験装置

管球製造、光学部品製造

加速器、放射線施設、核融合研究

熱処理

研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

型式 TG220F
吸気口フランジ  VG100/ISO-R100/CF100
排気速度 N2 (L/s) 220
N2(保護金網付) (L/s) 210
H2 (L/s) 100
最大圧縮比  N2 1×108
H2 4×102
到達圧力  (Pa/Torr) <1×10-6/<7.5×10-9
最大ガス流量※1 (sccm) 400
起動時間 (min)  1-1.2
停止時間 (min)  2.5-3.5
許容補助圧力 (Pa/Torr) 260/2
推奨補助ポンプ (L/min) ≧80
取付姿勢 自在
質量 VG・ISO-R/CF(kg)  5.5/8
コントローラ型式 TC223
  • ※1:補助ポンプ容量を160L/minとした場合の許容最大流量
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図



  • A B C D
    VG100 φ185 15 200
    CF100 φ152 21 220
    ISO-R100 φ130 12 200
  •  
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります

コントローラ





コントローラ型式 TC223
入力電圧(ACV) 100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 590
出力周波数(Hz) 800
質量(kg) 2.7
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・シリアル通信コネクタ:1個
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部
適用ポンプ機種 TG220F