製品情報

TG70F

 

■H2最大圧縮比105を達成し、軽ガスの排気に有効

 

■高背圧でも連続運転可能で、排気性能が安定

 

■補助ポンプに小型のダイアフラムポンプを使用できるため、装置の小型化およびコストダウンに貢献

 

■コントローラはポンプ一体型とセパレートの2種類から選択可能

 

■取付姿勢360度完全自由自在

 

■振動に強く、ポンプ運転中でも移動可能

用途

・半導体製造

電子銃排気、イオン源排気

FPD製造

表面処理、表面改質

各種電子部品製造

分析、試験装置

管球製造、光学部品製造

加速器、放射線施設、核融合研究

熱処理

研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

型式 TG70F
吸気口フランジ  ISO-R63/CF63
排気速度 N2 (L/s) 70/75
N2(保護金網付) (L/s) 65/70
H2 (L/s) 40/45
最大圧縮比  N2 1×108
H2 1×105
到達圧力  ISO-R(Pa/Torr) <5×10-7/<3.8×10-9
CF (Pa/Torr) <1×10-7/<7.5×10-10
最大ガス流量※1 自然空冷 N2 (sccm) 10
強制空冷 N2 (sccm) 20
起動時間 (min)  2-2.5
許容補助圧力 (Pa/Torr) 1200/9
推奨補助ポンプ (L/min) ≧25
取付姿勢 自在
質量 ISO-R/CF(kg)  3/5
コントローラ型式 TC75(一体型)※2
入力電圧(V) DC24V
最大所要電力(W) 120W
  • ※1:補助ポンプ容量を25L/minとした場合の許容最大流量
  • ※2:ポンプとコントローラが一体のタイプ(TC75)と別置きのセパレートタイプ(TC76)から選択できます。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は8~38℃です。

外観寸法図



  • A B C D E F
    CF63 φ114 18 170 76 141
    ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ





コントローラ型式 TC76
入力電圧(ACV) 100-230 (±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 160
出力周波数(Hz) 1500
質量(kg) 2.4
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・取扱説明書(本体):1部
適用ポンプ機種 TG70F-20