製品検索

TG70F

  • TG70F

姿勢自在形ターボ分子ポンプ TG70Fの特長

 

  • コントローラ 一体型
    ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)のコントローラを一体化したコンパクトな設計。出力ケーブルや別置きコントローラが無くなり、ケーブルダクトやコントローララックが不要になります。面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単です。装置設計が自由になり、コストダウンに貢献いたします。また、コントローラはポンプ一体型とセパレート(分離型)の2種類から選択可能

  • 取付姿勢自在
    装置に様々な方向から直接取付け可能にしました。配管をシンプルに設計することが出来、効率的な排気も出来ます。

  • 耐振動・耐加速度特性
    振動に強く、ポンプ運転中でも移動可能。過去経験した大地震でも再起動出来た実績があります。また、排気カートやチャンバー扉などの可動部への取り付けも可能です。

  • 高圧縮比
    H2最大圧縮比105を達成し、軽ガスの排気に有効です。

  • コンパクトサイズ
    構造をシンプルにすることで小型・軽量化が可能になりました。

  • 急速起動
    立ち上がりが速く、待機時間が短くなります。

  • 大気突入に強い構造
    急な圧力上昇にも耐えることが可能ですので、リークによる急速停止や頻繁な起動停止や大気突入を繰り返す動作にも有効です。

  • 長期間使用可能
    適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。※ポンプ設計寿命10万時間以上

  • シリアル通信可能
    RS232C準拠シリアルインターフェイスを標準装備しています。

  • 安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE
    ※TG70F-20のみ

 

用途

  • 半導体製造
  • 電子銃排気、イオン源排気
  • FPD製造
  • 表面処理、表面改質
  • 各種電子部品製造
  • 分析、試験装置
  • 管球製造、光学部品製造
  • 加速器、放射線施設、核融合研究
  • 熱処理
  • 研究開発

 

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

外観寸法図

外観寸法図


 

●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC76
入力電圧(ACV) 100-230 (±10%)
入力周波数(Hz) 50 / 60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 160
出力周波数(Hz) 1500
質量(kg) 2.4
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・取扱説明書(本体):1部
適用ポンプ機種 TG70F-20