製品検索

TG50F

  • TG50F

姿勢自在形複合分子ポンプ TG50Fの特長

 

  • 取付姿勢自在
  • コンパクトサイズ
  • 省エネルギー
  • 急速起動
  • 急速ベント停止が可能
  • 大気突入に対応
  • シリアル通信可能

用途

・半導体製造

電子銃排気、イオン源排気

FPD製造

表面処理、表面改質

各種電子部品製造

分析、試験装置

管球製造、光学部品製造

加速器、放射線施設、核融合研究

熱処理

研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

吸気口フランジ  VG65
ISO-R63
CF63
排気速度 N2 (L/s) 51
N2(保護金網付) (L/s) 49
H2 (L/s) 12
最大圧縮比  N2 1.4×107
H2 5×102
到達圧力  VG・ISO-R/CF (Pa) <3×10-6
VG・ISO-R/CF (Torr) <2.3×10-8
最大ガス流量※1 N2 (sccm) 80
起動時間 (min)  1-1.5
停止時間 (min) 1-1.5
許容補助圧力 (Pa / Torr) 1330 / 10
推奨補助ポンプ (L/min) ≧50
取付姿勢 自在
質量  VG・ISO-R / CF(kg) 4.2 / 6
コントローラ型式 TC64

 

※1:補助ポンプ容量を100L/minとした場合の許容最大流量


[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷形の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

外観寸法図


A B C D
VG65 φ145 14 147
CF63 φ114 18 182
ISO-R63 φ95 12 168

●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式
TC64
入力電圧(ACV)
100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)
50/60
入力相数
単相
最大所要電力(VA)
220
出力周波数(Hz)
800
質量(kg)
2.7
標準付属品
  • ・入力コネクタ:1個
  • ・リモートコネクタ:1個
  • ・シリアル通信コネクタ:1個
  • ・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部
適用ポンプ機種
TG50F