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TG50F
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・分析、試験装置
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
※1:補助ポンプ容量を100L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷形の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。[ 対応ガス種 ]吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。
外観寸法図
●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
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