イベント情報

イベント情報SEMICON China / FPD China 2019 出展報告

 

※展示会は終了致しました。
ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

中国・上海にて開催される「SEMICON China / FPD China 2019」に出展いたします。

 

今回の出展テーマは『ポンプのIoT対応』です。


IoT社会の実現に向け、データセンター・生体認証・ロボット・AI・スマートフォン・再生エネルギー等のハイテク分野において半導体・FPD・電子部品・LED・太陽光パネルの需要が増えてきており、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるために必要な真空ポンプにも、IoT対応が必要ではないかと考えています。

 

これらの製造工程(成膜、エッチング、露光、イオン注入、パッケージング・検査工程等)で必要な、ターボ分子ポンプTGkine4200MI(反応生成物対策仕様)・TG420ML(極低振動仕様)・ドライポンプDSP250を実機で展示いたします。

 

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

 

 

 

主な展示品

■ コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ(反応性生成物対応仕様):TGkine4200MI

■ 磁気軸受形 複合分子ポンプ(極低振動仕様):TG420ML

■ コンパクトドライ真空ポンプ:DSP250

 

会期・会場

■ 会 期 : 2019年3月20日 ~ 3月22日

■ 会 場 : 中国・上海新国際博覧中心(中国 上海市 浦東新区 世紀公園 )

■ ブースNo.: N1ホール、1138

 

問合せ先

■ 「SEMICON China / FPD China 2019」公式サイト:

http://www.semiconchina.org/zh(中国語サイト)
http://www.semiconchina.org/(英語サイト)

■ 当社問合せ先:

http://www.osakavacuum.co.jp/support/inquiry.html