模式図1

油回転真空ポンプとの組み合わせ

ボールベアリングタイプのターボ分子ポンプの補助真空ポンプとして、油回転真空ポンプをシステム化すると、 容易な操作でしかも安価で超高真空が得られます。


 


模式図2

ドライ真空ポンプとの組み合わせ

磁気軸受タイプのターボ分子ポンプの補助真空ポンプとして、ドライ真空ポンプをシステム化すると、より容易に、 オイルフリーの清浄な超高真空、極高真空が得られます。


 


模式図3

ターボ分子ポンプのタンデム利用

超高真空対応ターボ分子ポンプの補助ポンプとしてターボ分子ポンプを使う場合もあります。 極高真空の領域で、水素の大きな排気速度が得られ、安定した極高真空を実現します。


 


模式図4

ゲッターポンプなどとの組み合わせ

極高真空用ポンプとしてのイオンポンプ、ゲッターポンプ、非蒸発型ゲッターポンプ(NEGポンプ)などをターボ分子ポンプとシステム化すれば、 極高真空での各種ガス排気が容易になり、より安定した極高真空が得られます。