油回転真空ポンプとの組み合わせ

模式図1

大容積を効率よく排気でき、熱処理装置、溶接装置などに実績があります。


 


油回転真空ポンプとルーツ真空ポンプ2段との組み合わせ

模式図2

ルーツ真空ポンプを2段組み合せてより高真空を得る、真空システムです。


 


液封式真空ポンプとの組み合わせ

模式図3

凝縮性気体に強く、真空乾燥や真空蒸留などのプロセスに実績があります。


 


液封式真空ポンプとルーツ真空ポンプ2段の組み合わせ

模式図4

ルーツ真空ポンプを2段もしくはそれ以上組み合せて、より高真空を得るシステムです。乾燥装置等に多くの実績があります。


 


ドライ真空ポンプとの組み合わせ

模式図5

腐食性ガスに強く、またシステム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空システムです。


 


ドライ真空ポンプとルーツ真空ポンプ2段の組み合わせ

模式図6

ルーツ真空ポンプを2段組み合せてより高真空を得る、環境対応型の真空システムです。


 


エジェクタ液封式真空ポンプとの組み合わせ

模式図7

大容量排気に適したエジェクタと、排水処理が不要な液封式真空ポンプを組み合せた環境対応型の真空システムです。エジェクタの段数、ルーツポンプの有無等、条件により変更することができます。