ルーツ真空ポンプとの組み合わせ

模式図1

大容積を効率よく排気でき、熱処理装置、溶接装置などに実績があります。


 


ルーツ真空ポンプ2段との組み合わせ

模式図2

ルーツ真空ポンプを2段組み合せてより高真空を得る、真空システムです。