ルーツ真空ポンプとの組み合わせ

模式図1

腐食性ガスに強く、またシステム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空システムです。


 


ルーツ真空ポンプ2段との組み合わせ

模式図2

ルーツ真空ポンプを2段組み合せて、より高真空を得る、環境対応型の真空システムです。


 


エジェクタとの組み合わせ

模式図4

大容量排気に適したエジェクタとドライ真空ポンプを組み合せた、オイルフリーの環境対応型真空システムです。