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株式会社大阪真空機器製作所
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TG70F排気システム ST-Compactシリーズ

型 式
STC70FR005
STC70FR013
吸気口フランジ
ISO-R63
排気口フランジ
G1/8※1
ターボ分子ポンプ
TG70FRAB
TG70FRNB
補助ポンプ
ダイアフラムポンプ
5 L/min
13 L/min
排気速度 (L/s)
N2
70
到達圧力
(Pa)
10-6
質量 (kg)
14
19
電源
AC100-120V
AC100V
最大所要電力
140VA
210VA
付属品
・入力ケーブル(5m):1本
・取扱説明書:1部
  • ※1:ダイアフラム排気口(大気開放側)にはマフラーが取り付いています。

TG70FR005外観寸法図


TG70FR013外観寸法図

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