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株式会社大阪真空機器製作所
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ターボ分子ポンプ排気ユニット STシリーズ

型 式
ターボ分子ポンプ機種
排気速度 (L/s)
 N2
到達圧力 
 (Pa) 
 (Torr) 
吸気口フランジ
 
 
冷却方式
電源
標準機器構成
オプション機器
ST050F
ST220F
ST350F
TG50F
TG220F
TG350F
51(49)※1
220(210)※1
350(330)※1
<3×10-6
<2.3×10-8
<1×10-6
<7.5×10-9
VG65
ISO-R63
CF63
VG100
ISO-R100
CF100
空冷
単相、AC100V
- ターボ分子ポンプ本体
- TMPコントローラ
- STコントローラ
- 自動スローリーク弁
- 真空配管
- ロータリーポンプ
- オイルミストトラップ
- アルミ架台
営業担当者までお問合せください。
  • ※1:( )内は保護金網付の排気速度です。
  • 標準仕様以外にも、お客様のニーズに合わせた排気ユニットを製作することができます。 詳しくは当社営業担当者までお問合せ下さい。

STシリーズ外観寸法図
機 種 A B C
ST050FV050 VG65 486 155
ST050FR050 ISO-R63 507 155
ST050FC050 CF63 521 155
ST220FV050 VG100 539 175
ST220FR050 ISO-R100 539 175
ST220FC050 CF100 559 175
ST350FV050 VG100 569 175
ST350FR050 ISO-R100 553 175
ST350FC050 CF100 569 175


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  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
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