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株式会社大阪真空機器製作所
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TG60F

型 式
吸気口フランジ
排気速度 (L/s)
N2
(保護金網付) N2
H2
最大圧縮比
N2
H2
到達圧力
ISO-R/CF Pa
 
ISO-R/CF Torr
最大ガス流量※1(sccm)
自然空冷 N2
 
強制空冷 N2
起動時間 (min)
許容補助圧力 (Pa/Torr)
推奨補助ポンプ (L/min)
質量 (kg)※2
ISO-R/CF
コントローラ型式※3
入力電圧(V)
最大所要電力(W)
TG60F
TG60F-20
ISO-R63、CF63、(KF40)※4
60
55
22
2×107
2×103
<5×10-6 / <1×10-6
<3.8×10-8 / <7.5×10-9
10
20
1.5-2
800 (6)
≧25
3.4 / 5.4
TC65
TC66
DC24V
AC100-230V
(±10%)
120W
160VA
  • ※1:補助ポンプ容量を25L/minとした場合の許容最大流量
  • ※2:TG60Fの場合です。TG60F-20の場合は右記になります。ISO-Rタイプ…3kg CFタイプ…5kg
  • ※3:ポンプとコントローラが一体のタイプ(TC65)と別置きタイプ(TC66)から選択できます。
  • ※4:吸気口フランジKF40の仕様は別途お問い合わせ下さい。
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は8~38℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。
自然空冷
A B C D E F
CF63 φ114 18 170 76 141
ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5


強制空冷
A B C D E F
CF63 φ114 18 170 76 141
ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5


TG60F-20 自然空冷
A B C D E F
CF63 φ114 18 170 76 141
ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5


TG60F-20 強制空冷
A B C D E F
CF63 φ114 18 170 76 141
ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5

拡大 「拡大」ボタンをクリックするとPDFが表示されます。印刷はPDFから行ってください。
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

Throughput / ガス流量

Throughput

Volume flow rate for N2 / 排気速度

Volume flow rate

 
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

※セパレートタイプを選択した場合のみ必要。


TC66写真 TC66
TC66外観寸法図
コントローラ型式
TC66
入力電圧(ACV)
100-230
入力周波数(Hz)
50/60
入力相数
単相
最大所要電力(VA)
160
出力周波数(Hz)
1150
質量(kg)
2.4
標準付属品
  • ・入力コネクタ:1個
  • ・リモートコネクタ:1個
  • ・取扱説明書:1部
適用ポンプ機種
TG60F-20


ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。 また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。 翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい(排気方向の流れと逆流の差が大きい)角度、後段側では気体分子が逆行しにくい(排気方向の流れと逆流の比が大きい)角度を持っています。 分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部(ロータ)の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部(ステータ)のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。 このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)が完成しました。 それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。

排気原理(前段側)
排気原理(後段側)
排気原理(ねじ溝側)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)
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