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株式会社大阪真空機器製作所
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TG2410F

ポンプ型式
コントローラ型式
吸気口フランジ
排気速度 (L/s)
N2
(保護金網付) N2
H2
最大圧縮比
N2
H2
到達圧力
(Pa)
 
(Torr)
最大ガス流量※1※2 (sccm)
N2
起動時間 (min)
停止時間 (min)
許容補助圧力 (Pa/Torr)
推奨補助ポンプ (L/min)
取り付け姿勢
質量 (kg)
空冷/水冷
TG2410F
TG2410F-40*
TC2413
TC2414
TC2415
VG250
ISO-B250
2200
2000
2000
1800
1700
1250
1×108
9×107
9000
2000
<5×10-7
<3.8×10-9
1800
2500
3500
5-7
46-51
43-45
350/2.6
270/2.0
≧1000
自在
51/51
-/52(水冷のみ)
  • ※1:コントローラの型式で仕様が異なります。詳しくは営業担当者までお問い合せ下さい。
  • ※2:補助ポンプを2000L/minとした場合の許容最大流量
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 空冷の場合は10℃から32℃、水冷の場合は10℃から40℃。許容冷却水温は10℃から35℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

空冷式
A B C D
VG250 φ350 16 363
ISO-B250 φ335 16 363


水冷式
A B C D
VG250 φ350 16 363
ISO-B250 φ335 16 363


水冷式
A B C D
VG250 φ350 16 363
ISO-B250 φ335 16 363

拡大 「拡大」ボタンをクリックするとPDFが表示されます。印刷はPDFから行ってください。
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

Throughput / ガス流量

Throughput(N2)

 


Throughput(Ar)

Volume flow rate for N2 / 排気速度

Volume flow rate
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
TC2403写真
TC2403外観寸法図
コントローラ型式
TC2413
TC2414
TC2415
入力電圧(ACV)
200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)
50/60
入力相数
単相
最大所要電力(kVA)
1.4
1.2
出力周波数(Hz)
520
450
質量(kg)
8.2
標準付属品
  • ・入力コネクタ:1個
  • ・リモートコネクタ:1個
  • ・シリアル通信コネクタ:1個
  • ・フェライトコア:1個
  • ・パワーサプライ取扱説明書:1部
  • ・シリアル通信取扱説明書:1部
適用ポンプ機種
TG2410F
TG2410F-40
  • ※外観及び寸法は全て同じです。
  • ※コントローラ内部設定を変更し出荷します。
  • 設定によりポンプの性能が異なります。(詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。)

ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。 また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。 翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい(排気方向の流れと逆流の差が大きい)角度、後段側では気体分子が逆行しにくい(排気方向の流れと逆流の比が大きい)角度を持っています。 分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部(ロータ)の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部(ステータ)のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。 このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)が完成しました。 それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。

排気原理(前段側)
排気原理(後段側)
排気原理(ねじ溝側)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)
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