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株式会社大阪真空機器製作所
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TG220F

吸気口フランジ
排気速度 (L/s)
N2
(保護金網付) N2
H2
最大圧縮比
N2
H2
到達圧力
(Pa)
 
(Torr)
最大ガス流量※1 (sccm)
N2
起動時間 (min)
停止時間 (min)
許容補助圧力 (Pa/Torr)
推奨補助ポンプ (L/min)
取り付け姿勢
質量 (kg)
VG・ISO-R/CF
コントローラ型式
VG100
CF100
ISO-R100
220
210
100
1×108
4×102
<1×10-6
<7.5×10-9
400
1-1.2
2.5-3.5
260/2
≧80
自在
5.5/8
TC223
  • ※1:補助ポンプ容量を160L/minとした場合の許容最大流量
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。
空冷式
A B C D
VG100 φ185 15 200
CF100 φ152 21 220
ISO-R100 φ130 12 200


水冷式
A B C D
VG100 φ185 15 200
CF100 φ152 21 220
ISO-R100 φ130 12 200

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  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能比較を行う

Throughput / ガス流量

Throughput

Volume flow rate for N2 / 排気速度

Volume flow rate

 
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
TC223写真 TC223
TC223外観寸法図
コントローラ型式
TC223
入力電圧(ACV)
100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)
50/60
入力相数
単相
最大所要電力(VA)
590
出力周波数(Hz)
800
質量(kg)
2.7
標準付属品
  • ・入力コネクタ:1個
  • ・リモートコネクタ:1個
  • ・シリアル通信コネクタ:1個
  • ・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部
適用ポンプ機種
TG220F

ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。 また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。 翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい(排気方向の流れと逆流の差が大きい)角度、後段側では気体分子が逆行しにくい(排気方向の流れと逆流の比が大きい)角度を持っています。 分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部(ロータ)の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部(ステータ)のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。 このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)が完成しました。 それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。

排気原理(前段側)
排気原理(後段側)
排気原理(ねじ溝側)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)
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