TG-Fシリーズの特長

  • 取付姿勢自由自在:

    取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大!
    真空チャンバーに直付けできるので、コンダクタンスのロスによる排気速度の減少がなくなります。
  • 優れた耐久性:

    独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い!
    また、振動にも強く、それを要因とするポンプトラブルやデリケートな運転状況から開放されます。
  • 急速ベント停止:

    ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。
    ※一部対応外の機種があります。
  • 急速起動:

    立ち上がりが早く、待機時間が短くなります。
  • メンテナンスフリー:

    グリース補充の必要が無く、日々のメンテナンスの必要がありません。

用途

  • 半導体製造
  • 電子銃排気、イオン源排気
  • FPD製造
  • 表面処理、表面改質
  • 各種電子部品製造
  • 分析、試験装置
  • 管球製造、光学部品製造
  • 加速器、放射線施設、核融合研究
  • 熱処理
  • 研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。



ラインアップ

TG50F TG70F
TG220F TG240F
TG350F TG450F
TG800F TG1100F
TG1400F TG2400F
TG2410F