TGシリーズの特長

  • ケミカル対応:

    全クラスでケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスの排気に適しています。
  • ダストに強い構造:

    ポンプ内部へのダスト混入によるポンプトラブルが少ない。
  • 大気突入に強い構造:

    不意の大気突入に強い堅牢設計です。

用途

  • 半導体製造
  • 電子銃排気、イオン源排気
  • FPD製造
  • 表面処理、表面改質
  • 各種電子部品製造
  • 管球製造、光学部品製造
  • 加速器、放射線施設、核融合研究
  • 熱処理
  • 研究開発

※クリーンプロセス向けは TG-Fシリーズをお選び下さい。



ラインアップ

TG203 TG553
TG1003 TG1303
TG1810/1813 TG2813
TG3213 TG3413
TG5000/5003 TG5500/5503