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株式会社大阪真空機器製作所
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TGkine4200M

機種名※1 TGkine4200M
吸気口フランジ
VG350
排気口フランジ
KF40 / KF50
排気速度 (L/s)
N2
4200
(保護金網付) N2
4000
H2
2800
最大ガス流量 (sccm)※2,※3
N2
2500
Ar
1400
最大圧縮比
N2
2.0×108
H2
2000
到達圧力(Pa)※4
<5×10-7
最大排気口圧力(Pa)※5
160
起動時間 (min)
≦12
停止時間 (min)
≦14
入力電圧 (V)
AC200-240V
相数
単相
周波数 (Hz)
50-60
電流 (A)
Max. 5.9
所要電力 (kVA)
Max. 1.0
質量 (kg)
75
  • ※1:型式名につきましては、営業担当者までお問い合わせ下さい。
  • ※2:1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1気圧)
  • ※3:排気口部の補助排気速度を5000L/minとした場合の値です。
  • ※4:48時間ベーク後に得られる値です。
  • ※5:N2ガス雰囲気でポンプが損傷することなく連続運転可能な最大排気口圧力です。
概観寸法図 拡大 「拡大」ボタンをクリックするとPDFが表示されます。印刷はPDFから行ってください。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

排気速度

排気速度

ガス流量

ガス流量

 
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。 また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。 翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい(排気方向の流れと逆流の差が大きい)角度、後段側では気体分子が逆行しにくい(排気方向の流れと逆流の比が大きい)角度を持っています。 分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部(ロータ)の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部(ステータ)のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。 このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)が完成しました。 それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。

排気原理(前段側)
排気原理(後段側)
排気原理(ねじ溝側)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)
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