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株式会社大阪真空機器製作所
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TGkine2200M

吸気口フランジ
排気口フランジ
排気速度 (L/s)
N2
(保護金網付) N2
H2
最大圧縮比
N2
H2
到達圧力
(Pa)
VG・ISO-B/CF
 
(Torr)
VG・ISO-B/CF
最大ガス流量 (sccm)
N2
起動時間 (min)
停止時間 (min)
許容補助圧力 (Pa/Torr)
推奨補助ポンプ (L/min)
入力電圧 (V)
相数
周波数 (Hz)
電流 (A)
所要電力 (kVA)
通信インターフェイス(いづれかを選択)
保護等級
取り付け姿勢
質量 (kg)
VG・ISO-B/CF
コントローラ型式
特殊仕様
(詳しくは当社営業担当者までお問合わせ下さい。)
VG250
ISO-B250
KF40
KF50
2200
2100
1800
>2×108
3×103
<2×10-7
2×10-9
4400
7-10
7-10
220/1.65※1
≧2000
AC200-240V
-15%+10%
単相
50-60
Max. 5.3
Max. 0.9
Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet
IP54
自在
62
一体型
-ケミカル形 
  • ※1:N2ガス雰囲気中で連続運転可能な補助圧力
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃で、許容周囲温度は10~40℃です。
  • 到達圧力保証冷却水温は30℃以下で、許容冷却水温は15~30℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
    対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。
概観寸法図
吸気口フランジ A B
ISO-B250 348.5 325
VG250 343.5 320

拡大 「拡大」ボタンをクリックするとPDFが表示されます。印刷はPDFから行ってください。
  • ※KF50仕様もご用意しております。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

排気速度

排気速度

ガス流量

ガス流量

 
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。 また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。 翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい(排気方向の流れと逆流の差が大きい)角度、後段側では気体分子が逆行しにくい(排気方向の流れと逆流の比が大きい)角度を持っています。 分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部(ロータ)の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部(ステータ)のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。 このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)が完成しました。 それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。

排気原理(前段側)
排気原理(後段側)
排気原理(ねじ溝側)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)
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