TGkineシリーズの特長

  • コントローラ・電源一体型:

    コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計。
    出力ケーブルや別置きコントローラが無くなり、ケーブルダクトやコントローララックが不要になります。
    面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単です。
    装置設計が自由になり、コストダウンに貢献いたします。
  • バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応:

    広い真空領域で大流量排気が可能。
    優れた到達圧力、高圧縮比。
    補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができます。
    ロータ回転数を任意に設定可能(110~450rps)。
    プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要になります。
  • 省スペース化、アクセス性の向上:

    各種アクセス部(スイッチ、LED、ケーブル/配管接続部など)を前面に集約し、作業効率改善。
    横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献いたします。
    メンテナンス時のアクセスも容易です。
  • 多様な通信対応:

    複数の通信仕様から選択でき、遠隔操作、複数台制御もできます。
    (Parallel I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet)
  • IP54標準対応:

    IP54(防塵・防滴)標準対応で、厳しい環境下でも使用できます。
  • TG-Mシリーズの特長も踏襲:

    TG-Mシリーズの特長

用途

  • 太陽電池製造装置
  • ガラス/レンズ加工
  • フィルム加工
  • LCD製造装置
  • 半導体製造装置
  • 加速器/宇宙環境試験装置

ラインアップ

TGkine2200M TGkine3300M TGkine4200M