株式会社大阪真空機器製作所
 

ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。 また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。 翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい(排気方向の流れと逆流の差が大きい)角度、後段側では気体分子が逆行しにくい(排気方向の流れと逆流の比が大きい)角度を持っています。 分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部(ロータ)の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部(ステータ)のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。 このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)が完成しました。 それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。


排気原理(前段側)
排気原理(後段側) 排気原理(ねじ溝側)


ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)

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