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株式会社大阪真空機器製作所
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空冷式ドライ真空ポンプ FR060D

特 長

・大気圧で連続運転可能

開放時排気速度800L/min

・水蒸気吸入可能

水蒸気処理量500g/hr

・排気時間の短縮

到達付近まで一定の排気速度維持

・空冷仕様

 

用 途

■小型実験排気用 ■ロードロック室、搬送
■分析・測定装置の排気 ■吸着・搬送
■加速器の排気 ■封止・封着
■電子銃源・イオン銃源排気 ■乾燥
■スパッタ蒸着などのPVD装置排気 ■小型炉排気
■TMPなどの高真空ポンプの補助ポンプ  

 

仕 様

型 式 FR060D
単相200V仕様
三相200V仕様
排気速度
最大
1,000 L/min
開放運転時
800 L/min
到達圧力
通常
1.0 Pa
ガスバラスト時
2.0 Pa
最大吸気口圧力
大気圧
最大水蒸気処理量※1
500 g⁄hr
接続形式
吸気口
KF(NW)40
排気口
KF(NW)40
消費電力
到達時
1.1 kW
最大
1.3 kW
電流
11.1 A
6.5 A
潤滑油量
90 mL
概略質量
75 kg
電源
電圧50⁄60Hz
単相、200-240V
三相、200-240V
許容電圧変動※2
±10%
電源容量
3.0 kVA
CP容量
16 A
15 A
短絡電流定格(SCCR)
1.0 kA
制御信号
D-sub 15Pin
冷却方式
空冷
環境温度
5-40℃
  • ※1 ガスバラスト機構使用時の処理量になります。
  • ※2 特殊仕様に関しては、別途御連絡願います。

 


FR060D外観寸法図

拡大 「拡大」ボタンをクリックするとPDFが表示されます。印刷はPDFから行ってください。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線1

 

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