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株式会社大阪真空機器製作所
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コンパクトドライ真空ポンプ
DSP50 ⁄ DSP250 ⁄ DSP500

特 長

■ 排気速度

50L/min、230L/min、500L/minの3製品をラインアップ

■ 到達圧力

DSP50:20Pa、DSP250 ⁄ 500:0.5Pa

■ クリーン排気

油蒸気やパーティクルの逆流がない

■ オイルフリー

同期ギアをなくし、潤滑油を使用しない設計

■ ポータブルタイプ

小型、軽量、外乱に強い

■ 空冷仕様

冷却水が不要で有利な設置条件

■ 高速ポンプダウン

高圧(大気圧付近)領域で大排気を実現

■ 省エネルギー

低消費電力設計

 

用 途

・SEM、リソグラフィ ・医療装置
・ロードロック/搬送室排気 ・分析機器
・加速器、イオン源、電子銃排気 ・一般産業
・PVD ・R&D

 

仕 様

型 式 DSP50 New DSP250 DSP500
排気速度 (L/min)
50(36)※1
230(200)※1
500(430)※1
到達圧力
(Pa)
20(200)
0.5(2.0)※1
接続口径
吸気口
KF16
KF25
KF40
排気口
Rc1
KF25
最大消費電力 (W)
230
380
600
到達圧力時消費電力 (W)
240
270
電源
100-230V±10%
(ポンプ入力:DC24V)
単相、100-230V±10% (50/60Hz)
冷却方式
空冷
質量 (kg)
9
15
20
  • ※1:()内はガスバラスト導入時の数値です。

 


DSP50外観寸法図


DSP250外観寸法図


DSP500外観寸法図

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性能曲線0

 

性能曲線1

 

性能曲線2

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