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磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TG397M⁄TG427M

tg327m tg427m
  • 特 長

  • <新機能>
  • 設定パラメータ、稼動データをポンプ本体に蓄積可能
  • シリアル通信プロトコルがRS232C, RS485に加えProfibus, DeviceNetも選択可能
  • 消費電力低減
  • 最新の安全規格(UL/IEC 61010-1 3rd edition)対応
  • 用 途

  • 半導体製造
  • 電子銃排気、イオン源排気
  • FPD製造
  • 表面処理、表面改質
  • 各種電子部品製造
  • 分析、試験装置
  • 管球製造、光学部品製造
  • 熱処理
  • 研究開発

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