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超高真空形 TG-MUシリーズ
用途
・スパッタリング装置、分析・試験装置等・高性能な半導体、電子部品等の開発・製造・加速器、放射光施設、核融合研究等
仕様
外観寸法図
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
性能曲線
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