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株式会社大阪真空機器製作所
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SEMICON China / FPD China 2018

中国上海にて開催される「SEMICON China / FPD China 2018」に出展いたします。当展示会では、半導体、FPDはもとより、LED、太陽光パネル等の各産業でも広く活用されているターボ分子ポンプ、ドライ真空ポンプを中心に真空ポンプをご紹介いたします。
特にエッチング、露光、検査工程等に不可欠な特殊仕様ターボ分子ポンプTGkine4200MI(反応生成物対策仕様)、TG420ML(極低振動仕様)を実機で展示いたします。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。

※展示会は終了致しました。
ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

SEMICON China / FPD China 2018

SEMICON China / FPD China 2018

主な展示品

  •  コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ(反応生成物対策仕様):TGkine4200MI
  •  磁気軸受形ターボ分子ポンプ(極低振動仕様):TG420ML
  •  ドライ真空ポンプ:DSP500

会期・会場

  •  会 期 : 2018年3月14日 ~ 3月16日
  •  会 場 : 中国・上海新国際博覧中心
    (中国 上海市 浦東新区 世紀公園 )
  •  ブースNo.: N1-1122

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