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株式会社大阪真空機器製作所
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SEMICON Japan 2012

千葉県・幕張メッセにて開催される「SEMICON Japan 2012」に出展いたします。
半導体・FPD・PV製造工程で問題となる反応生成物に対応した一体型分子ポンプ kineTiGシリーズや排気速度60m3/hの空冷型新ドライ真空ポンプを会場で初公開いたします。

ご来場の際は展示会公式サイトでの事前登録が便利です。


※展示会は終了致しました。
   多数の皆様のご来場、ありがとうございました。

SEMICON Japan 2012 出展製品

反応生成物対応 kineTiGシリーズ

ER100D

主な展示商品

  •  初公開! 反応生成物対応kineTiGシリーズ (実機展示)
  •  初公開! ドライ真空ポンプ (実機展示)
    【排気速度60m3/h、空冷式、大気圧連続運転、排気時間短縮】
  •  省エネルギー型ドライ真空ポンプ ER100D (実機展示)
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会期・会場

  •  会  期:2012年12月5日(水)~12月7日(金)
  •  会  場:幕張メッセ
  •  ブースNo:4B-205
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問合せ先

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