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株式会社大阪真空機器製作所
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SEMICON Japan 2008

ご多忙中にもかかわらず、多数の皆様に弊社ブースに御来場頂き、誠にありがとうございました。

本展示会では、大流量と高圧縮を実現し、PVD用途に適している大型の磁気軸受型ターボ分子ポンプ「TG3460M」、 コンパクトかつ高圧縮比、高背圧を実現したターボ分子ポンプ排気ユニットのST-Compactを中心に、ターボ分子ポンプ、 メカニカルポンプをご紹介させて頂きました。

真空機器・ポンプに関してご相談があれば、いつでも弊社にお問い合わせ下さい。

今後とも、お引き立てのほどよろしくお願いいたします。

SEMICON Japan 2008

SEMICON Japan 2008 写真1

SEMICON Japan 2008 写真2

主な展示商品

  •  分析・計測装置向けターボ分子ポンプ ―TG70F/TG240F―
  •  大流量・高圧縮型磁気軸受形複合分子ポンプ ―TG3460M―
  •  ターボ分子ポンプ排気ユニット ―ST-Compact―
  •  ターボ分子ポンプTG-Fシリーズ ―TG220F/TG800F/TG2400F―
  •  ターボ分子ポンプTG-Mシリーズ ―TG390M/TG1300M―
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会期・会場

  •  会  期:2008年12月3日(水)~12月5日(金)
  •  会  場:幕張メッセ (1-11ホール、イベントホール、国際展示場)
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問合せ先

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