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株式会社大阪真空機器製作所
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イベント情報
 

SEMICON Japan 2006

開催中は、例年を大幅に上回る多くの方々ににご来場いただきまして、誠にありがとうございました。

展示会では、下記のような、半導体製造に適した当社TMPラインアップをご紹介いたしました。

SEMICON Japan 2006

SEMICON Japan 2006

主な展示商品

  •  ターボ分子ポンプ
    • -大流量・高圧縮を両立した磁気軸受形TMP
      <TG3460M>NEW!
    • -反応生成物対策 磁気軸受形TMP<TG-MIシリーズ>
    • -極低振動 磁気軸受形TMP<TG-MLシリーズ>
    • -超高真空形 磁気軸受形TMP
      <TG-Mシリーズ・フルデジタルタイプ>
    • -分析・計測用途向けTMP<TG70F/300F>
    • -姿勢自在形 TMP<TG-Fシリーズ>
  •  TG-MIシリーズによるメンテナンスモードの実演
  •  TG-Fシリーズ排気セットによる大気導入(急速リーク)停止の実演
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会期・会場

  •  会  期:2006年12月6日(水)~8日(金)
  •  会  場:幕張メッセ(日本コンベンションセンター)
  • 国際展示場ホール1‐11、イベントホール
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問合せ先

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