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株式会社大阪真空機器製作所
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SEMICON Japan 2005

開催中は多くの方に御来場頂きまして、ありがとうございました。

本展示会では、様々な振動に対応したターボ分子ポンプをご紹介しました。

その中でも、大阪真空の人気製品である姿勢自在形複合分子ポンプ<TG-Fシリーズ>を稼動したまま、装置やチャンバーごと搬送が可能なことを実演し、多くのお客様に興味を持っていただきました。
TG-Fシリーズは、取付姿勢が自在で、外部からの衝撃(外乱)や耐加速度に優れたターボ分子ポンプです。排気しながらポンプの移動ができるので、装置設計が自由になり、また生産性も向上します。
またその他にも、極低振動仕様ターボ分子ポンプ「TG-MLシリーズ」と、反応生成物対応ターボ分子ポンプ「TG-MIシリーズ」を出展し、様々な状況に応じたターボ分子ポンプをご紹介して、今まで使用できなかった用途に広がるTMP排気の可能性をご提案いたしました。

大阪真空はお客様のニーズにお応えするべく努力していきます。真空に関してお困りの点、要求がございましたら、何なりとお知らせください。

今後とも、弊社の製品と技術にご期待ください。

SEMICON Japan 2005

SEMICON Japan 2005

主な展示商品

  • ターボ分子ポンプ
    • ・稼働中TMPの移動(実機実演)
    • ・姿勢自在形TMP
    • <TG-Fシリーズ>
    • ・極低振動磁気軸受形TMP
    • <TG-MLシリーズ>
    • ・生成物対策仕様磁気軸受形TMP
    • <TG-MIシリーズ>
    • ・磁気軸受形TMP
    • <TG-Mシリーズ・フルデジタルタイプ>
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会期・会場

  •  会  期:2005年12月7日(水)~9日(金)
  •  会  場:幕張メッセ(日本コンベンションセンター)
  • 国際展示場ホール1‐11、イベントホール
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問合せ先

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