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株式会社大阪真空機器製作所
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VACUUM2005-真空展

開催中は多くの方にご来場頂きまして、ありがとうございました。

本展示会では、ターボ分子ポンプを中心として、弊社真空技術を御紹介させて頂きました。
その中でも、ターボ分子ポンプを稼動したまま、装置やチャンバーごと搬送が可能なことを実演した<TG-Fシリーズ>は、外部からの衝撃(外乱)や耐加速度に優れ、排気しながらポンプの移動ができるので、装置設計が自由になりました。これまでご紹介してきた「取付姿勢自在」「小型」「軽量」「省エネルギー」といった特長と合わせて、よりいっそう幅広いアプリケーションに対応できるようになり、多くの方に興味を持って頂けたと思います。このように多くの特長をもつTMP<TG-Fシリーズ>に加え、反応生成物対策のM型TMP<TG-MIシリーズ>、極低振動仕様のM型TMP<TG-MLシリーズ>などとともに、今まで使用できなかった用途に広がるTMP排気の可能性をご提案できたと思います。

また、PRTRやVOC排出規制対応に適したドライ真空ポンプ<SIHIdry>、研究・開発用から、量産用の大型基板・高速・安定成膜まで対応し、様々な基板への成膜が可能な<V型カソードスパッタリング装置>も、ご好評いただき、ターボ分子ポンプと合わせて、今後の真空装置に対して、幅広くご協力させていただけると感じております。

大阪真空はお客様のニーズにお応えするべく努力していきます。真空に関してお困りの点、要求がございましたら、何なりとお知らせください。

今後とも、弊社の製品と技術にご期待ください。

VACUUM 2005-真空展

VACUUM 2005-真空展

主な展示商品

  •  ターボ分子ポンプ
    • 稼働中TMPの移動(実機実演)
    • 姿勢自在形TMP<TG-Fシリーズ>
    • 極低振動磁気軸受形TMP<TG-MLシリーズ>
    • 生成物対策仕様磁気軸受形TMP<TG-MIシリーズ>
    • 磁気軸受形TMP<TG-Mシリーズ・フルデジタルタイプ>
  •   ドライ真空ポンプ
  • SIHIdry
  •   V型カソードスパッタリング装置
  •   その他ラインアップ
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会期・会場

  •  会  期:2005年8月31日(水)~9月2日(金)
  •  会  場:東京ビッグサイト 東展示棟 4ホール
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問合せ先

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