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株式会社大阪真空機器製作所
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第15回FPD研究開発・製造技術展~ファインテック・ジャパン~

開催中は多くの方に御来場頂きまして、ありがとうございました。

当日は、ターボ分子ポンプ<TG-Fシリーズ>を稼動したまま、装置やチャンバーごと搬送が可能なことを実演しました。TG-Fシリーズは、取付姿勢が自在で、外部からの衝撃(外乱)や耐加速度に優れたターボ分子ポンプです。排気しながらポンプの移動ができるので、装置設計が自由になり、また生産性も向上します。 また、他にもFPD製造に最適な、生成物対策TMP<TG-MIシリーズ>も出展し、それぞれ皆様方の強い関心を頂きました。

当社は、これからもFPD製造に最適な製品群をご用意し、皆様の製品開発・製造にご助力させて頂きたいと考えております。

今後とも、当社、および当社製品をご愛顧いただきますよう、宜しくお願い申し上げます。

第15回FPD研究開発・製造技術展
~ファインテック・ジャパン~

第15回FPD研究開発・製造技術展~ファインテック・ジャパン~

第15回FPD研究開発・製造技術展~ファインテック・ジャパン~

主な展示商品

  • 稼働中TMPの移動(実機実演)
  • 姿勢自在形TMP<TG-Fシリーズ>
  • 生成物対策仕様TMP<TG-MIシリーズ>
  • 磁気軸受形TMP<TG-Mシリーズ・フルデジタルタイプ>
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会期・会場

  •  会  期:2005年4月20日(水)~22日(金)
  •  会  場:東京ビッグサイト 東展示棟
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問合せ先

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