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株式会社大阪真空機器製作所
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SEMICON Japan 2003

開催中は多くの方にご来場頂きまして、ありがとうございました。

本展示会では、半導体・LCD製造装置を始めとする各種アプリケーションに最適なターボ分子ポンプのラインアップと、プラズマ応用装置をご紹介いたしました。

その中でも今回新しく出展いたしました反応生成物へ対応した磁気軸受形複合分子ポンプ「TG3451MI」は、多くの方に興味を持って頂けました。口径12インチの「TG3251MI」と合わせて、半導体やLCDの製造装置において、皆様の問題解決に大いに寄与できると考えております。

大阪真空は、お客様の真空に関する問題を解消すべく努力していきます。今後とも、弊社の製品と技術にご期待ください。

SEMICON Japan 2003

SEMICON Japan 2003

主な展示商品

  •  「反応生成物対応磁気軸受形複合分子ポンプ」
  •  「磁気軸受形複合分子ポンプ-フルデジタルタイプ-」
  •  「プラズマ応用装置」
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会期・会場

  •  会  期:2003年12月3日(水)~5日(金)
  •  会  場:千葉・幕張メッセ(1~11ホール、イベントホール)
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問合せ先

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