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株式会社大阪真空機器製作所
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SEMICON Japan 2002

開催中は多くの方にご来場頂きまして、ありがとうございました。

 本展示会では、半導体・液晶製造装置等に最適なターボ分子ポンプのラインアップをご紹介いたしました。その中でも今回新しく出展いたしました新型TG-Mは、お客様からラインアップの充実を期待されており、半導体・液晶製造装置のニーズにお応えできる製品であると確信しております。
また、有機EL保護膜・光学膜の成膜に有効なスパッタ装置もご紹介し、ご来場の皆様に興味を持って頂けました。
大阪真空は、お客様の真空に関する問題を解消すべく努力していきます。

今後とも、弊社の製品と技術にご期待ください。

SEMICON Japan 2002

SEMICON Japan 2002

主な展示商品

  •  「反応生成物対応形複合分子ポンプ」
  •  「姿勢自在形複合分子ポンプ:TG-Fシリーズ」
  •  「磁気軸受形複合分子ポンプ:TG-Mシリーズ」
  •  「TMP排気セット:STシリーズ」
  •  「プラズマ応用装置」
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会期・会場

  •  会  期:2002年12月4日(水)~6日(金)
  •  会  場:千葉・幕張メッセ(1~11ホール、イベントホール)
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問合せ先

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